Chiplets für Hochfrequenzanwendungen
Das Fraunhofer IAF kooperiert in der FMD und trägt die Entwicklung neuartiger GaN-auf-SiC- und InGaAs-auf-Si-Chiplets sowie Microbump-Interposer zur APECS-Pilotlinie bei. Diese Technologien eignen sich aufgrund herausragender Werte in zentralen Parametern wie Rauschen, Ausgangsleistung und Effizienz besonders gut für Hochfrequenzanwendungen und versprechen Innovationen in der Messtechnik, Kommunikation, Radartechnik und Sensorik.
Institutsübergreifende Zusammenarbeit
Am 31. Januar 2025 fand das interne Kick-off-Meeting für das APECS-Teilprojekt am Fraunhofer IAF in Freiburg statt. Zur Abstimmung des komplexen Projektplans trafen sich Repräsentanten aller an APECS beteiligten Organisationseinheiten des Instituts – von Epitaxie, Technologie und Mikroelektronik bis hin zu Verwaltung und Technischen Diensten. Seitens der FMD nahm Dr. Andreas Grimm am Kick-off teil.
Anlagen und Prozesse für 6‘‘-Wafer
Um einen einfachen Transfer in die Industrie zu gewährleisen, sollen Entwicklung und Fertigung der Chiplets und Interposer am Fraunhofer IAF auf 6‘‘-Wafern stattfinden. Im Reinraum des Instituts werden deshalb neue Anlagen für die Bereiche Epitaxie, Prozesstechnologie und Messtechnik beschafft und bis Ende 2027 in Betrieb genommen. Zudem werden bestehende Prozesse für die Chiplet- und Interposer-Fertigung angepasst.
Über APECS
Die APECS-Pilotlinie ist ein wichtiger Baustein des EU Chips Acts, um Chiplet-Innovationen voranzutreiben und die Forschungs- und Fertigungskapazitäten für Halbleiter in Europa zu erhöhen. Die in der FMD kooperierenden Institute arbeiten eng mit weiteren europäischen Partnern am Aufbau der Pilotlinie und leisten damit maßgeblich einen Beitrag, Europas technologische Resilienz zu stärken und somit auch die globale Wettbewerbsfähigkeit in der Halbleiterindustrie zu steigern. APECS wird durch Chips Joint Undertaking und durch nationale Förderungen von Belgien, Deutschland, Finnland, Frankreich, Griechenland, Österreich, Portugal und Spanien im Rahmen der »Chips for Europe«-Initiative kofinanziert. Die Gesamtfinanzierung für die APECS-Pilotlinie beläuft sich auf 730 Mio. Euro über 4,5 Jahre.